将激光照射到漫反射物体表面产生散射光之间的互相干涉，随机的干涉强度在空间背景 上形成散斑像；将物体变形前后的表面散斑像重合产生与位移量对应的条纹，从而测得面内位移量。
沉降位移测量系统采用基于位移传递的摄像测量技术和亚像素高精度定位算法，可以准确测量外载荷作用下被测点亚像素精度的竖直方向位移。测量时，按一定的间距将测量头摆放在待测结构的表面，获取每个测量点处的位移并传输到上位机，上位机通过解耦各个测量点之间得群联分布关系，获取整个结构的变形。
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